Шта је УЛПА филтер? Како се разликује од ХЕПА и где сваки припада

ХЕПА филтер према ЕН 1822 обично се односи на Х13 или Х14. УЛПА филтер се односи на У15, У16 или У17. Скок са Х14 на У15 на папиру изгледа мали, али у смислу продора то је велики корак. Х14 дозвољава максималну укупну пенетрацију од 0,005%, док У15 то смањује на 0,0005%. То је 10× смањење дозвољеног продора.

То је прва ствар коју би купци требали запамтити:

•Х14=ХЕПА

•У15-У{1}} УЛПА

•Основа теста је МППС, а не само обична маркетиншка изјава од 0,3 μм

Већа ефикасност обично значи строжу контролу контаминације, али и већу осетљивост система на дизајн протока ваздуха и пад притиска

ЕН 1822 класе ефикасности

Према ЕН 1822, уобичајене класе високе{1}}ефикасности су:

•Х13: Већа или једнака 99,95% укупне ефикасности

•Х14: Већа или једнака 99,995% укупне ефикасности

•У15: Већа или једнака 99,9995% укупне ефикасности

•У16: Већа или једнака 99,99995% укупне ефикасности

•У17: Већа или једнака 99,999995% укупне ефикасности

Иста табела класа такође укључује локалне границе ефикасности/пенетрације, које су важне када је скенирање цурења део услова прихватања.

Овде почиње забуна.

На тржишту, многи УЛПА листови са подацима и даље описују перформансе као 99,9995% на 0,12 μм. ААФ литература о производима то ради директно за УЛПА модуле и кутијске филтере. Та формулација је и даље уобичајена и позната многим инжењерима. Али формална логика класификације према ЕН 1822 / ИСО 29463 заснива се на МППС тестирању. То значи да је најсигурнији начин за поређење производа:

• Прво проверите разред: Х14, У15, У16, У17

•Потврдите тестни стандард: ЕН 1822 / ИСО 29463

• Затим прегледајте како добављач наводи измерену ефикасност у подацима

Шта заиста значи скок У15

Наши инжењери често виде како се купци понашајуU15као „само мало боље од Х14“. Боље је од тога. Дозвољена укупна пенетрација опада за једну децималу. У смислу чисте собе, то је важно када се процес већ бори на нивоу квара, а не само на нивоу{3}}удобности собе.

Здравствена нега и операционе сале: циљ је контрола инфекције, а не принос плочице

У дизајну здравствене заштите, главна брига је контрола ризика од инфекције ваздушним путем, контаминације{0}}хируршке локације, односа притиска и чистог протока ваздуха преко критичне зоне. АСХРАЕ-ове здравствене смернице то наводеСтандард 170 захтева ХЕПА филтере само за просторије са заштитном{1}}окружењем, не у сваком здравственом простору. За операционе сале, нагласак је на низу дифузора за напајање, шеми протока ваздуха и притиску у просторији. Зато се дискусије о здравственој заштити обично усредсређују наХЕПА, не УЛПА.

Постоје здравствени производи који нуде опционе УЛПА перформансе. Цамфил-ова-литература о вентилацији у оперативном биоскопу помиње опционе УЛПА филтере за неке системе. Али то не мења шире правило:стандардно мерило за здравствену заштиту је ХЕПА{0}}филтрација, док је УЛПА посебан случај, а не подразумевани одговор.

Полупроводничке чисте собе су различите. Цамфил-ово упутство за полупроводнике описује фабрике које циљају на нивое честица ИСО класе 1, заједно са стриктном контролом молекуларне контаминације у ваздуху (АМЦ). Такође наглашава употребу ХЕПА и УЛПА филтера у апликацијама као што су литографија, јеткање, дифузија, метализација, имплантација јона, алати за инспекцију и складиштење конца или плочица. МАНН+ХУММЕЛ такође описује ФФУ системе за чисте собе које користе елементе од Х14 до У17.

Због тога купци полупроводника често прелазе са ХЕПА на УЛПА:

•критичне величине честица су мање

• Губитак приноса је директно везан за контаминацију на наноскали

•алатима и мини{0}}окружењима често је потребна строжа контрола од околних фабрика

•молекуларна контаминација у ваздуху је важна поред честица

једноставно правило:
•Ако просторија штити радни ток пацијента и особља, ХЕПА је обично референтна тачка.
•Ако просторија штити плочицу, маску, кончаницу или напредни процесни алат, УЛПА постаје много чешћа

Не. Не аутоматски.

Бољи филтер на папиру није увек бољи инжењерски избор на терену.

Купци такође треба да упореде:

•Почетни отпор

• дозвољени коначни пад притиска

• капацитет вентилатора и цена енергије

•уједначеност струјања ваздуха

•захтеви за заптивање и скенирање{0}}

•понашање испуштања гасова

• Ризик примене ако се филтер брже зачепи или присили редизајн система за ваздух

Наши инжењери често виде да је УЛПА специфицирао где би Х14 испунио стварне захтеве процеса са нижом отпорношћу система и нижим оперативним трошковима. Догађа се и супротна грешка: ХЕПА се копира у РФК за полупроводнике или микроелектронику једноставно зато што је то познатији термин. Ниједна пречица није добра пракса набавке.

Ова тачка се стално занемарује.

У полупроводничким и микроелектронским окружењима, проблем нису само честице. То је такође молекуларно ослобађање из самог филтера. Цамфил каже да је асортиман полупроводничких предфилтера дизајниран да заштити ХЕПА филтере без отпуштања бора, а његови ХЕПА/УЛПА производи за употребу у полупроводницима су дизајнирани за веома ниско испуштање гасова. ААФ истиче исту поенту са стране микроелектронике, наводећи да -без бора и хемијски инертан филтерски медијум ограничава- гасове који могу оштетити микроелектронику. Холлингсвортх & Восе такође описује своје микростаклене медије са мало-бора као дизајниране за чисте просторије са великим полупроводницима.

У производњи полупроводника, контаминација у траговима није теоретска. Молекуларна контаминација из ваздуха и хемијски остаци могу утицати на површине плочице, оптику и процесне алате. Цамфил експлицитно напомиње да нежељене реакције које укључују киселине, базе, органске, ватросталне идодаткеможе створити кварове и смањити ефикасност опреме. Бор је допантни елемент у обради полупроводника, тако да је неконтролисано ослобађање бора из материјала у ваздушном путу управо оно што фабрика покушава да избегне.

Због тога купци у електроници често траже:

•мало-борамедија

•ниско{0}}испуштање гасовалепкови и компоненте

•УЛПА или врхунски{0}} ХЕПА/УЛПА модули направљени посебно за микроелектронику

• филтери за чисту собу прилагођени литографији, гравурању, танком филму или окружењу алата за инспекцију

Ово је важно. Ниско{1}}филтерски медиј није неопходан у свакој чистој просторији.

Постаје важно када:

процес је полупроводнички или микроелектронички

купац управља АМЦ и испуштањем материјала

фабрика или произвођач алата има строге спецификације за хемијску чистоћу

цена контаминације у траговима је изузетно висока

За многе фармацеутске, болничке или стандардне индустријске чисте собе, овај захтев се можда никада неће појавити у РФК.

1. Поређење ХЕПА на 0,3 μм са УЛПА на 0,12 μм без провере стандарда

То је поређење јабука-са-поморанџама осим ако не потврдите наведену тестну основу и класу. ЕН 1822 / ИСО 29463 класификација је изграђена око МППС.

2. Навођење УЛПА јер "звучи сигурније"

Већа ефикасност није бесплатна надоградња ако систем не може да апсорбује пад притиска или ако процес није потребан.

3. Игнорисање испуштања гасова и хемијске чистоће у електроници

У полупроводничким апликацијама, сопствени материјали филтера су важни. Конструкција са ниским-бором и ниским-испуштањем гаса може бити подједнако важна као и класа ефикасности.

4. Уписивање „УЛПА филтера“ у РФК без класе

Озбиљан РФК треба да кажеУ15, У16 или У17, плус тестни стандард и величина.